電離気体反応論

博士前期課程理工学研究科 - 理工学専攻

MSAC7040

コース情報

担当教員: 田中 邦翁

単位数: 2

年度: 2024

学期: 秋学期

曜限: 金1

形式: 対面授業

レベル: 500

アクティブラーニング: なし

他学部履修: 不可

評価方法

出席状況

30%

レポート

70%

その他

評価は基本的に出席とレポートで行う予定であるが,評価方法並びに比率は変更する可能性がある。

0%

詳細情報

概要

電離気体という,高エネルギーを有した粒子が存在している場の中では,通常とは異なる化学反応が進行する。その特異な反応は電子が介在していることで起きており,電離気体中の反応を理解するためには,化学的な知識だけでなく気体分子の運動論や荷電粒子の運動などの物理現象についての理解も必要となってくる。本講義では,電離気体中での粒子の物理現象についての基礎を学び,続いて放電を用いた電離気体の発生法について解説する。また,電離気体の実用例を示しながら,そこで起きている化学反応について解説を行う。 本講義は, 博士前期課程の理工学専攻カリキュラムポリシーのCP2,および応用化学領域カリキュラムポリシーのCP2に該当する。

目標

プラズマを利用した固体表面処理法について,実際の実験に応用できる程度の知識を身につけることを目標とする。 本講義は,博士前期課程の理工学専攻ディプロマ・ポリシーのDP1,および応用化学領域ディプロマ・ポリシーのDP1とDP2を到達の目標とする。

授業外の学習

プラズマに関する専門書を使い,授業の講義内容の範囲を予習・復習を行う。講義前に90分の予習と講義後の100分の復習を行う。

所要時間: 190 分

スケジュール

  1. 電離気体(プラズマ)の基礎
  2. 電離気体中の粒子の運動 -気体分子の運動-
  3. 電離気体中の粒子の運動 -電界を伴う運動-
  4. 電離気体中の反応過程 -電離・励起・解離-
  5. 電離気体中の反応過程 -再結合・その他-
  6. 放電の発生と制御 -発生の基礎-
  7. 放電の発生と制御 -平衡プラズマ-
  8. 放電の発生と制御 -非平衡プラズマ (低圧)-
  9. 放電の発生と制御 -非平衡プラズマ (大気圧)-
  10. プラズマによる処理技術 -表面改質-
  11. プラズマによる処理技術 -薄膜堆積-
  12. プラズマによる処理技術 -加工処理-
  13. プラズマ診断 -光を利用した測定-
  14. プラズマ診断 -電気的性質を利用した測定-

教科書

特定のテキストは使用しない。

    参考書

    書籍情報はありません。

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